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Ciência e Tecnologia

de Filmes Finos

Objetivos da Disciplina

Esta disciplina visa o estudo detalhado dos processos de crescimento de filmes finos. Aborda os conceitos envolvidos e as tecnologias existentes. Abrange também o estudo de propriedades físicas, das técnicas de caracterização, e das aplicações dos filmes finos.

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Programa 2020

Calendário

1. Introdução e Motivação  

1.1 Motivação (slides)

1.2 Introdução à Disciplina (slides)

2. Cinética dos Gases 

2.1 Cinética dos Gases (slides)

2.2 Cinética dos Gases (slides)

2.3 Cinética dos Gases - chuva (slides)

2.4 - Aula gravada - aula 05 de 18-03-2020 (link)

 Lista de Exercícios - Caps. 1 e 2

3. Tecnologia de Vácuo 

3.1 - Bombas e Vedações aula 05  19-03-2020 (slides)

3.2 - Medidores de Pressão, Analisadores de Gases aula 07  30-03-2020 (slides)

3.2 - Aula gravada - aula 06 de 19-03-2020 (link)

3.3 - Controladores de Fluxo e Veloc. Bomb. aula 08  31-03-2020 (slides)

3.3 - Aula gravada - aula 07 de 25-03-2020 (link)

3.3 - Aula gravada - aula 08 de 26-03-2020 (link)

3.3 - Aula gravada - aula 09 - veloc de bombeamento 01-04-2020 (link)

Lista de Exercícios - Cap. 3

3.3 - Aula gravada 10 - exercicios Cap.3 02-04-2020 (link)

Tabela de Conversão Unidades de Pressão e Fluxo (Pfeiffer)

4. Evaporação Térmica 

4.1 - Evaporação - Slides - Parte 1 (link)

4.1 - Aula gravada 12 - Evaporação 1.a Cap.4 09-04-2020 (link)

4.1 - Aula gravada 13 - Evaporação 1.b Cap.4 15-04-2020 (link)

4.2 - Evaporação - Slides - Parte 2 (link)

4.2 - Aula gravada 14 - Evaporação 2  Cap.4 16-04-2020 (link)

4.2 - Aula gravada 15 - Lista Evap  Cap.4 22-04-2020 (link)

Lista de Exercícios - Cap. 4

Videos interessantes sobre ebulição - evaporação e congelamento

https://www.youtube.com/watch?v=i0Frx_bPsT8

https://www.youtube.com/watch?v=qL2ct9d_cMc

https://www.youtube.com/watch?v=QvQBlRXQtWc

5. Crescimento de Filmes  

5.1 - Crescimento de Filmes - Parte 1 - Slides (23/04)

5.1 - Aula Gravada 16 - Crescimento - Parte 5.1(23/04)

5.2 - Crescimento de Filmes - Parte 2 - Slides (29 e 30/04)

5.2 - Aula Gravada 17 - Crescimento - Parte 5.2.a (29/04)

5.2 - Aula Gravada 18 - Crescimento - Parte 5.2.b (30/04)

5.2 - Aula Gravada 18 - Crescimento - Parte 5.2.c (06/05)

5.3.a - Aula Gravada 19 - Deformação-tensão - Parte 5.3.a (07/05)

5.3.b - Aula Gravada 20 - Ex.: Cap. 5 (13/05)

5.3.c - Aula Gravada 21 - Ex.: Cap.5. (14/05)

5.3.d - Aula Gravada 22 - Ex.:5.11, 4.5, e 5.12 (20/05)

5.3.d - Aula Gravada 23 - Ex.: 5.6 e 5.14 - (21/05)

Texto Etapas do Crescimento de Filmes Finos - Parte 1

Texto Etapas do Crescimento de Filmes Finos - Parte 2

Lista de Exercícios - Cap. 5

6. Caracterização de Filmes  

6.1 - Aula Gravada 24 - Caract. Estrutural R-X(1) - (28/05)

6.2 - Aula Gravada 25 - R-X(2) MEV e MET- (03/06)

6.3 - Aula Gravada 26 - Caract Optica - (04/06)

Acima: Arquivos 2020

​

Abaixo: Arquivos 2019 

​

2.1 - Aula gravada (link)

 Lista de Exercícios - Caps. 1 e 2

2.2 Cinética dos Gases - Parte 2 (slides)

2.2 - Aula gravada - aula 03 de 14-03-2019 (link)

2.2 - Cinetica dos Gases - Revisão Final aula 04  18-03-2019 (slides)

2.3 - Aula gravada - aula 04 de 18-03-2019 (link)

3.0 - Tecnologia de Vácuo - Introduçao aula 04  18-03-2019 (slides)

3.1 - Tecnologia de Vácuo - Bombas aula 05  21-03-2019 (slides)

3.2 - Tecnologia de Vácuo - Manômetros aula 05  21-03-2019 (slides)

3.2 - Aula gravada - aula 05 - Bombas e Manômetros,  21-03-2019 (link)

3.3 - Tecnologia de Vácuo - Veloc Bombeam. aula 06  25-03-2019 (slides)

3.3 - Aula gravada - aula 06 - Vazão e Veloc Bombeam. 25-03-2019 (link)

Lista Exerc - Tecn. de  Vácuo (Cap.3) 

Roteiro Veloc. Bomba Mecânica

Video Veloc. Bomba Mecânica - Parte 1

Video Veloc. Bomba Mecânica - Parte 2

Roteiro Veloc. Bomba Turbo

Vídeo Veloc. Bomba Turbo

Vídeo Analisador de Gases Residuais

Calendário próximas atividades e orientações para avaliação 1.

4.1 - Evaporação Térmica - Parte 1 - Slides 

4.1.a) - Evaporação Térmica - Parte 1.a - Aula Gravada 09 (08/04) 

4.1.b) - Evaporação Térmica - Parte 1.b - Aula Gravada 10 (11/04)

Evaporação Térmica (texto)

Lista Exercícios - Evaporação Térmica - Cap.4 

4.2 - Evaporação Térmica - Parte 2 - Slides (22/04)

4.2 - Evaporação Térmica - Parte 2 - Aula Gravada 11 (22/04)

5.1 - Crescimento de Filmes - Parte 1 - Slides (25/04)

5.1 - Crescimento de Filmes - Parte 1 - Aula Gravada (25/04)

5.1 - Crescimento de Filmes - Parte 1 - Texto

5.  - Crescimento de Filmes - Lista de Exercícios

5.2 - Crescimento de Filmes - Parte 2 - Slides (29/04)

5.2 - Crescimento de Filmes - Nucleação - Aula Gravada (29/04)

5.2 - Cresc. de Filmes - Parte 2 - Texto - Nucleação & Estruturação

5.2 - Cresc. de Filmes - Parte 2 - Estruturação e Difusão Sólida - Aula Gravada (02/05)

5.3 - Crescimento de Filmes - Tensão e deformação - Aula Gravada (06/05)

6.1.a - Caract. Estrutural - Difração R-X - A. Gravada (13/05)

6.1.b - Caract. Estrutural - Absorç. R-X e Feixe de Elétrons -  A. Gravada (16/05)

6.2.a - Caract. Optica - Parte 1 - Aula Gravada (20/05)

6.2.b - Caract. Optica - Parte 2 - Aula Gravada (27/05)

6.2.c - Caract. Optica - Parte 3 + Microscopias - Parte 1 Aula Gravada (30/05)

6.3.b - Microscopias - Parte 2 - STM - Aula Gravada (03/06)

Seminários

Programação de Temas e Datas

Slides - Deposição por Feixes Energéticos - Lucas e Bruno (06/06)

Seminário Gravado - Deposição por Feixes Energéticos - Lucas (06/06)

Slides - Plasma e Sputtering DC - Henrique - (10/06)

Slides - Plasmas, Sputtering RF - Magnetron - Orisson, Levi, Erick - (10/06)

Slides - Magnetron Sputtering - Marcel e Rubens - (10/06)

Semin. Gravados - Sputtering - Henrique / Orisson-Levi-Erick/Marcel e Rubens (10/06)

Seminário Gravado - Deposição Quimica de Vapor - Caio, João, Fabricio (13/06).

Seminário Gravado - Método Sol-Gel - Caio, Mitsuo e Miécio (17/06).

Seminários Gravados - Epitaxia (Sergio e Ricardo) e Aplicações de Filmes (Bruno Freitas e Adalberto (24/06).

Slides - Aplicações de Filmes Finos - Bruno Freitas e Adalberto - (24/06)

Seminários Gravados - Celula de Knudsen/Epitaxia (Alexandre) Feixes Energéticos (Bruno Lupino) (27/06).

Livros
Smith - abaixar
Ohring - abaixar
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